MEMS, mikro elektro mekanik sistem (microelectromechanical system) anlamına gelir ve mikroelektronik üretim teknikleri kullanılarak üretilen tüm sensörler için geçerlidir. Bu teknikler, tipik olarak silikon üzerinde mikroskobik boyutta mekanik algılama yapıları oluşturur. Mikroelektronik devrelerle birleştirildiğinde, ivme gibi fiziksel parametreleri ölçmek için MEMS sensörleri kullanılabilir. ICP® sensörlerinden farklı olarak, MEMS sensörleri 0 Hz’e kadar olan frekansları (statik […]