MEMS İvmeölçerlere Giriş
MEMS, mikro elektro mekanik sistem (microelectromechanical system) anlamına gelir ve mikroelektronik üretim teknikleri kullanılarak üretilen tüm sensörler için geçerlidir. Bu teknikler, tipik olarak silikon üzerinde mikroskobik boyutta mekanik algılama yapıları…